Design und Herstellung von MEMS (141383-SS 2025)

In der Vorlesung werden Entwurfsverfahren und Tech­no­lo­gi­en der Mi­kro­sy­tem­tech­nik vor­ge­stellt, die über die Er­zeu­gung rei­ner Elek­tro­nik-Struk­tu­ren hin­aus­ge­hen, aber oft auch auf Pro­zes­sen der Halb­lei­ter­tech­no­lo­gie auf­set­zen. Sie um­fas­sen Ver­fah­ren, die ge­eig­net sind, me­cha­ni­sche und flui­di­sche Sys­te­me zu fer­ti­gen. Es wird je­weils auf kon­kre­te An­wen­dun­gen Bezug ge­nom­men.