Ziel der Vorlesung ist das Erlernen der Grundprinzipien, auf denen Mikrosysteme basieren, und diese in Mikrosystemen identifizieren zu können. Es werden Basis-Konzepte für einfache Mikrosysteme aufgestellt und die dafür notwendigen Randbedingungen definiert. Wesentliche Wandler-Konzepte der Mikrosystemtechnik werden beschreiben und auf einfache Anwendungen bezogen.
In einem Technologie-Praktikum werden die Studierenden an die Basistechnologien der Mikrosystemtechnik, die so auch in der Mikroelektronik genutzt werden, herangeführt, indem sie selbst einzelne Prozessschritte im Reinraum durchführen.
Wichtig: Dieses Technologie-Praktikum ist Voraussetzung und Pflicht für die Teilnahme an der mündlichen Prüfung!
- Kursleiter/in: Martin Hoffmann
Semester: SoSe 2025