Das Modul „MEMS & Nanotechnologie“ vermittelt vertiefte Kenntnisse über den Einsatz von Mikrosystemen (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme, MEMS) in aktuellen Gebieten der Ingenieurtechnik und der biomedizinischen Technik sowie über die Konzepte, Methoden und Werkstoffe der Nanotechnologie.
- Kursleiter/in: Anke Arnold
- Kursleiter/in: Alfred Ludwig
- Kursleiter/in: Sigurd Thienhaus
Semester: ST 2025