Informazioni sul corso

Die Vorlesung „Werkstoffe & Fertigungsverfahren der Mikrosystemtechnik“ vermittelt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik (MST). MST ist die Schlüsseltechnologie für eine fortschreitende Miniaturisierung und Funktionsintegration in fast allen Bereichen der modernen Technik. Die Herstellung von Mikrosystemen beruht auf speziellen Fertigungsverfahren, insbesondere der Dünnschichttechnik, und der genauen Kenntnis und prozesstechnischen Beherrschung spezieller Struktur-, Hilfs- und Funktionswerkstoffe. Mikrotechnische Fertigungsverfahren unterscheiden sich erheblich von denen für makroskopische Bauteile, ebenso werden andere Werkstoffe eingesetzt.
Die Vorlesung vermittelt vertiefte Kenntnisse der Werkstoffe, die im Bereich Mikrotechnik eingesetzt werden.

• Überblick zu grundlegenden Konzepten und Technologien der Mikrosystemtechnik
• Mikrotechnische Grundstrukturen und Fertigungsprozesse
• Reinraumtechnologie
• Photolithographie
• Dünnschichttechnologie (additiv, subtraktiv)
• Werkstoffwissenschaftliche Besonderheiten mikrotechnischer Materialien
• Mikroelektronische Werkstoffe in Mikrosystemen
• Strukturwerkstoffe der Mikrosystemtechnik
• Silizium und seine Verbindungen
• Siliziumätztechnik
• Funktionswerkstoffe der Mikrosystemtechnik
• Dreidimensionale Mikrostrukturierungsverfahren
• Charakterisierungsverfahren für Mikrosysteme
• Systemintegration, Aufbau- und Verbindungstechnik