Das Modul „MEMS & Nanotechnology“ vermittelt vertiefte Kenntnisse über den Einsatz von Mikrosystemen (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme, MEMS) in aktuellen Gebieten der Ingenieurtechnik und der biomedizinischen Technik
sowie über die Konzepte, Methoden und Werkstoffe der Nanotechnologie.

Semester: WT 2023/24