Die Vorlesung befasst sich mit Konzepten von Mikroaktoren (Antrieben) und Mikrosensoren. Da viele Prinzipien sowohl sensorische als auch aktorische Eigenschaften zeigen bzw. die Sensoren für ihre Funktion eine Aktorik benötigen, werden beide Themen in dieser Vorlesung zusammengefasst.
Zu den aktorischen Prinzipien gehören elektrostatische und piezoelektrische Aktoren sowie thermomechanische und Formgedächtnis-Antriebe. Bei den magnetischen Antrieben werden die Grenzen bei der Miniaturisierung dargestellt.
In der Sensorik werden die zentralen Themen der mechanischen Sensorik (Druck, Beschleunigung, Drehrate, Kraft, Akustik), der thermischen Sensorik (Strahlungsmessung, Massenstrom-Sensoren, Gas-Sensorik) sowie der chemischen Sensorik (Feldeffekt, amperometrisch, IR-optisch, Metalloxid) behandelt.
Die Vorlesung gibt einen breiten Überblick über den aktuellen Stand der Mikrosystemtechnik. Sie ergänzt sich mit der VL Mikrosysteme, setzt diese aber nicht voraus.
- Kursleiter/in: Martin Hoffmann