Die Vorlesung befasst sich mit den wesentlichen Konzepten von Mikroaktoren (Antrieben) und Mikrosensoren.
Da viele hier zugrundeliegende Effekte sowohl sensorische als auch aktorische Eigenschaften zeigen bzw. die Sensoren für ihre Funktion auch eine Aktorik benötigen, werden beide Felder in einer Vorlesung dargestellt. Zu den wesentlichen aktorischen Prinzipien gehören elektrostatische und piezoelektrische Aktoren, aber auch thermomechanische und Formgedächtnis-Antriebe. Im Bereich der Sensorik werden die großen Blöcke der mechanischen Sensorik (Druck, Beschleunigung, Drehrate, Kraft, Schall), der thermischen Sensorik (Strahlungsmessung, Massenstrom-Sensoren, Gassensorik) sowie der chemischen Sensorik (Feldeffekt, amperometrisch, optisch) behandelt.
In den Übungen werden konkrete Beispiele besprochen und die Inhalte vertieft sowie Beispiele berechnet.
Die Vorlesung gibt einen breiten Überblick über den aktuellen Stand der Mikrosystemtechnik.
- Kursleiter/in: Martin Hoffmann