Die Mikrosystemtechnik stellt eine wesentliche Erweiterung der klassischen Mikroelektronik dar. Sie dient zum einen der Erfassung von Umwelt- und Umgebungsparametern als auch der Ausgabe von Signalen an die Umwelt und zum anderen unterstützt sie die Mensch-Maschine-Schnittstelle.
Viele heute so geläufigen Hilfsmittel in Smartphones basieren auf Mikrosystemtechnik: angefangen bei den Mikrofronen und den Beschleunigungssensoren für die Dateneingabe über die mechanischen (!) Filter im Hochfrequenzteil zur Datenübertragung bis hin zu Sensorclustern zur Navigation oder in Zukunft bis zur Aktoren, die MEMS-basierte Lautsprecher ermöglichen.
DIe Vorlesung vermittelt Grundlagen zur Anwendung, zum Einfluss der Skalierung auf die Mikrosystemtechnik, zu ausgewählten Beispielen und zur Technologie, die dies ermöglicht.
Als ergänzende Vorlesung wird ein vertiefter Einblick in die Technologie in Halbleitertechnologie 2 empfohlen. Im Wintersemester ergänzen die Vorlesungen Mikroaktorik und Mikrosensorik sowie Ausgewählte Kapitel der Mikrosytemtechnik das Vorlesungsangebot.
- Kursleiter/in: Martin Hoffmann